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使(shi)用耐腐蝕碳化(hua)矽(gui)陶(tao)瓷反(fan)應器，連(lian)續安全
氟氣極其貨品(pin)，其直接(jie)參(can)與反(fan)應時(shi)很難控(kong)制(zhi)選(xuan)擇(ze)性。常用的方(fang)式(shi)是(shi)先(xian)氯(lv)化(hua)，再用HF氟化(hua)。采用連(lian)續微反(fan)應器技術，為氟(fu)氣直接(jie)氟(fu)化提供(gong)了便利(li)。同時(shi)，操(cao)作也(ye)更(geng)安全，更(geng)。
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